[发明专利]一种基板超声波清洗机无效
| 申请号： | 201010149639.8 | 申请日： | 2010-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN101804407A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 姚建梁 | 申请（专利权）人： | 姚建梁 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈慧珍 |
| 地址： | 214174 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板超声波清洗机，其包括超声波振荡装置、超声波冲洗装置、冲洗液供给装置以及保持机架，所述超声波冲洗装置内设置压电振子，所述冲洗装置与保持机架之间设置有不等边四边形棱锥体结构的超声波传播体，所述超声波传播体的一端连接超声波冲洗装置，另一端与保持机架之间有用于设置冲洗液供给装置的隔离空间，上述基板超声波清洗机于冲洗装置与保持机架之间设置有不等边四边形棱锥体结构的超声波传播体，通过超声波传播体对超声波的传播和集中，使超声波扩散面的能量强度具有均一性，不仅结构简单，而且冲洗效果好，可有效控制洗涤物被损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
一种基板超声波清洗机，其包括超声波振荡装置、超声波冲洗装置、冲洗液供给装置以及保持机架，所述超声波冲洗装置内设置压电振子，其特征在于：所述冲洗装置与保持机架之间设置有超声波传播体，所述超声波传播体与保持机架之间设置冲洗液供给装置。
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