[发明专利]检查方法有效
| 申请号： | 201010158326.9 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101852745A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 金熙泰;黄凤夏;李承埈;高光一 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G03B15/03 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 郭鸿禧;马翠平 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检查方法。为了设置检查区域，将测量目标设置到载物台上，调用测量目标的参考数据，并获得测量目标的测量数据。然后，在测量目标的测量数据和参考数据中选择至少一个特征对象，并从参考数据和测量数据中的每个提取选择的特征对象的至少一个特征变量。此后，通过利用特征变量和量化的转换式来产生测量目标的改变量，并补偿产生的改变量，以设置检查区域。因此，补偿了测量目标的变形，以正确地设置检查区域。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种检查方法，包括如下步骤：将测量目标设置到载物台上；调用测量目标的参考数据；获得测量目标的测量数据；选择测量目标的测量数据和参考数据中的至少一个特征对象；提取从参考数据和测量数据中的每个选择的特征对象的至少一个特征变量；通过利用特征变量和量化的转换式来产生测量目标的改变量；补偿产生的改变量，以设置检查区域。
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