[发明专利]镀膜装置有效
| 申请号： | 201010164552.8 | 申请日： | 2010-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102234772A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，包括基座、驱动机构、多个间隔导板、以及导气部。该基座具有相对的承载面和底面。该承载面用于承载待镀工件。自该承载面向基座内开设有多个凹槽。该驱动机构包括马达和多个转轴。该多个转轴分别设置在该多个凹槽内且可相对该多个凹槽转动，该马达用于驱动该多个转轴转动。该多个间隔导板沿凹槽设置并将该承载面分割形成多个间隔区域。其中，每一间隔导板与一转轴固定连接，每一间隔导板可在对应的转轴的带动下转动并与该基座的承载面成一夹角。该导气部设置在该基座的上方并具有多个导气口，该多个导气口与该多个间隔区域一一对应。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，包括：基座，其具有相对的承载面和底面，该承载面用于承载待镀工件，自该承载面向基座内开设有多个凹槽；驱动机构，其包括马达和多个转轴，该多个转轴分别设置在该多个凹槽内且可相对该多个凹槽转动，该马达用于驱动该多个转轴转动；多个沿凹槽设置的间隔导板，该多个间隔导板将该承载面分割形成多个间隔区域，其中，每一间隔导板与相应的一转轴固定连接，每一间隔导板可在对应的转轴的带动下转动并与该基座的承载面成一夹角；及导气部，其设置在该基座的上方并具有多个导气口，该多个导气口与该多个间隔区域一一对应。
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