[发明专利]用于俘获基板的系统和方法

摘要

本发明公开了一种用以于一电子处理环境中侦测一分子物种的方法。本方法将一俘获基板曝露在该处理环境中；该俘获基板的表面积不同于一正在进行电子处理的电子基板的表面积；该分子物种从该环境被输送至该俘获基板；接着便会确认该分子物种的特征，从而侦测该物种。本发明中所揭示的其它方法则运用一俘获基板从一电子处理环境中移除该分子物种，或是使用该俘获基板来判断一运作于两个制程环境间或是两道中间制程步骤间的输送容器中是否有一分子物种存在。本发明还公开了用于施行前述方法的系统。

主权项

一种从一用于电子处理一电子基板的环境中移除与侦测一分子物种的方法，所述环境是位于一运作于电子制程的输送容器内，其特征在于，所述方法包括：提供一俘获基板，其中该俘获基板的表面积不同于该电子基板，并且该俘获基板会从该输送容器内的环境移除分子物种；将该俘获基板曝露于该环境中，所述环境是位于一运作于电子制程的输送容器内，以用于电子处理该电子基板；将该分子物种从该环境中输送至该俘获基板；确认输送至该俘获基板的分子物种的特征，以便侦测该分子物种。