[发明专利]一种空间像的质量检测方法

摘要

一种求解由于镜头变形所产生球差和彗差的方法，将通过镜头所形成的空间像分成n(n≥3)段，空间像总的能量等于各段空间像能量之和；将通过镜头所成空间像的能量用下列数学模型表示：I＝I1+I2+Λ+In，n≥3；利用非线性最小二乘法对上述数学模型参数进行拟合求解，通过得到的拟合参数计算镜头的球差和彗差，拟合迭代部分利用Marquardt算法计算参数增量值。在光刻机的对准过程中，利用上述方法，求得球差和彗差，从而对对准系统所成的空间像的质量进行检测。

主权项

1.一种求解由于镜头变形所产生空间像的球差和彗差的方法，通过镜头进行成像，将所成的空间像分成n(n≥3)段，空间像总的能量等于各段空间像能量之和；将通过镜头所成空间像的能量用下列数学模型表示：I＝I₁+I₂+Λ+I_n，n≥3其中，i＝1，2，Λ，n，其中aix表示空间像宽度，aiz表示空间像高度；当n为偶数时，m_i＝A·a_i·(1+T)，其中，a_i表示各段的相对光强，A表示光强幅值，T表示离心率；m_i＝A·a_i·(1-T)，i=n2+1,Λ,n]]>当n为奇数时，m_i＝A·a_i·(1+T)，i=1,Λ,n-12]]>m_i＝A·a_i，i=n+12]]>m_i＝A·a_i·(1-T)，i=n+32,...,n]]>fi=(1+|ziaiz|3)-13,]]>i＝1，2，Λ，nx_i＝(x-x₀)·cos(-γ_i)+(z-z₀)·sin(-γ_i)-dx_i，i＝1，2，Λ，n，其中，γ_i表示各段光轴倾斜角，x为数学模型中的X方向坐标值，z为数学模型中的Z方向坐标值，x₀表示X方向上的水平平移，z₀表示Z方向上的垂向平移；z_i＝-(x-x₀)·sin(-γ_i)+(z-z₀)·cos(-γ_i)-dz_i，i＝1，2，Λ，n，i＝1，2，Λ，n，其中，表示各段由球差Z7、彗差Z9造出的相位偏移，H表示水平空间像非对称参数，V表示垂向空间像非对称参数；dxi=∂xi∂Z7·H+∂xi∂Z9·V,]]>i＝1，2，Λ，ndzi=∂zi∂Z7·H+∂zi∂Z9·V,]]>i＝1，2，Λ，n根据上述模型中的参数求解得到成像镜头的球差Z7和彗差Z9。