[发明专利]溅镀装置无效
| 申请号： | 201010197169.2 | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN102277559A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种溅镀装置包括一个腔体及一个腔体门。所述腔体的中心位置设有一个工作台。所述腔体门设置于所述腔体用于开启或关闭所述腔体。所述腔体门朝向所述工作台的一侧设有两个第一磁性元件，所述腔体的内壁设置有一个第二磁性元件。所述两个第一磁性元件与所述第二磁性元件围绕所述工作台设置，且所述两个第一磁性元件朝向所述工作台的一侧分别设有一个第一靶座，所述第二磁性元件朝向所述工作台的一侧设有第二靶座。所述两个第一磁性元件与所述工作台的中心的连线形成第一夹角，所述第二磁性元件及与其邻近的一个所述第一磁性元件与所述工作台的中心的连线形成第二夹角，所述第二夹角不等于所述第一夹角。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置，其包括：一个腔体，其中心位置设有一个工作台；及一个腔体门，其设置于所述腔体用于开启或关闭所述腔体；其特征在于：所述腔体门朝向所述工作台的一侧设有两个第一磁性元件，所述腔体的内壁设置有一个第二磁性元件；所述两个第一磁性元件与所述第二磁性元件围绕所述工作台设置，且所述两个第一磁性元件朝向所述工作台的一侧分别设有一个第一靶座，所述第二磁性元件朝向所述工作台的一侧设有第二靶座；所述两个第一磁性元件与所述工作台的中心的连线形成第一夹角，所述第二磁性元件及与其邻近的一个所述第一磁性元件与所述工作台的中心的连线形成第二夹角，所述第二夹角不等于所述第一夹角。
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