[发明专利]硅粉真空压实装置及其方法有效
申请号: | 201010198191.9 | 申请日: | 2010-06-10 |
公开(公告)号: | CN102009176A | 公开(公告)日: | 2011-04-13 |
发明(设计)人: | 袁为进;黄强 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | B22F3/04 | 分类号: | B22F3/04 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种硅粉真空压实装置及其方法,该硅粉真空压实装置,包括可抽真空容器,在可抽真空容器上设置进气阀和抽真空阀,硅粉放置在可抽真空容器内。利用该装置进行压实的方法为:首先将硅粉装入可抽真空容器内,然后真空泵通过抽真空阀将可抽真空容器抽真空,抽真空后打开进气阀,硅粉经过真空及气体吹压得到压实。本发明提供的技术方案是在原有单晶炉的基础上增设的,与传统的机械直接接触式压实相比,该硅粉压实装置既可让硅粉得到充分利用,又避免了硅料的再污染,且该装置加工成本低、操作简单。 | ||
搜索关键词: | 真空 实装 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种硅粉真空压实装置,其特征是:包括可抽真空容器,在可抽真空容器上设置进气阀(4‑2)和抽真空阀(4‑3),硅粉(8)放置在可抽真空容器内。
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