[发明专利]一种半导体专用设备用弹性调整机构

摘要

本发明涉及一种调整机构，特别是一种半导体专用设备上用到的弹性调整机构。该机构包括导轨座，弹性铰链，旋钮，压块，轴套，旋转挡块。通过螺钉和调整垫块将弹性铰链内圈固定在导轨座上，旋钮三插入弹性铰链，并且通过螺纹连接在导轨座上，旋钮二通过螺纹旋入弹性铰链，其端部的球面与导轨座接触，旋钮一从两侧通过螺纹旋入弹性铰链，其端部的球面与弹性铰链内圈接触，旋转挡块放入弹性铰链的半圆槽，与轴套底部连接，轴套固定在弹性铰链的外圈。通过旋钮对弹性铰链的调节可以实现晶片加工工艺中，左右方向的β，前后方向的α的微小角度调整。本发明具有结构紧凑，安装简单，应用方便，调整可靠的特点，可以广泛应用于半导体专用设备。

主权项

一种半导体专用设备用弹性调整机构，其特征在于：其包括导轨座(5)，连接导轨座(5)与轴套(8)的弹性铰链(4)，调整弹性铰链(4)弹性变形的旋钮一、二、三(1、2、3)，设置在弹性铰链(4)上的旋转挡块(6)；所述弹性铰链(4)由内圈(9)和套在内圈(9)外侧的外圈(10)构成，内圈(9)的根部如瓶颈状与外圈(10)在弹性铰链(4)的下部连接为一体，在弹性铰链(4)的下部开有两个通孔(11)，其使内圈(9)与弹性铰链(4)的下端连接处变窄，呈瓶颈状；弹性铰链(4)的内圈(9)和弹性铰链(4)的下部与导轨座(5)固定连接；旋钮三(3)穿过设在弹性铰链(4)前端上面中央的通孔与导轨座(5)螺纹连接；所述旋钮二(2)设置成两个分别位于旋钮三(3)两侧，旋钮二(2)螺纹连接在弹性铰链(4)前端的螺纹孔内，旋钮二(2)顶端的球面与导轨座(5)接触；旋钮一(1)设置有两个，分别设置在弹性铰链的外圈(10)的两侧，旋钮一(1)螺纹连接在弹性铰链外圈(10)一侧的螺纹孔内，并旋钮一(1)顶端的球面与弹性铰链的内圈(9)接触；旋转挡块(6)设置有两个，其由半圆座和半圆座中间凸起的凸台构成，其分别放置在开于弹性铰链后端左右两侧的半圆槽(12)内；轴套(8)固定连接在弹性铰链的内圈(9)上，轴套底面与旋转挡块(6)上的凸台通过螺钉连接。