[发明专利]真空气密的有机封装载体与传感器组件封装结构有效
申请号: | 201010212929.2 | 申请日: | 2010-06-12 |
公开(公告)号: | CN102280434A | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | 陈荣泰;何宗哲;潘力齐;范玉玟 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/28 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 在此提出一种真空气密的有机封装载体与传感器组件封装结构。所述有机封装载体包括具有第一表面的一有机基材、一导电电路层以及一无机气密绝缘层。导电电路层位于第一表面上,并暴露出部分第一表面。至于无机气密绝缘层则至少覆盖暴露的第一表面,以达到有机封装载体全面性的气密隔绝作用。 | ||
搜索关键词: | 真空 气密 有机 封装 载体 传感器 组件 结构 | ||
【主权项】:
一种有机封装载体,包括:一有机基材,具有一第一表面;一导电电路层,位于该第一表面上,并暴露出部分该第一表面;以及一无机气密绝缘层,至少覆盖暴露的该第一表面,以达到有机封装载体全面性的气密隔绝作用。
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