[发明专利]光学检查装置和利用其的检查方法无效
| 申请号： | 201010219050.0 | 申请日： | 2010-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN102004110A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 崔铉镐;金敏秀 | 申请（专利权）人： | AJU高技术公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/958;G01R31/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学检查装置和利用其的检查方法。该光学检查装置和利用其的检查方法能够提高检查效率。检查对象物(10)放置在支承单元(100)上。第一照明单元(400)产生短波长的第一光，向检查对象物(10)照射第一光。拍摄单元(200)拍摄第一光所照射的检查对象物(10)。伴随与此，光学检查装置(1000)由于照射短波长的光拍摄检查对象物(10)，所以可以检查在检查对象物(10)上形成的透明图案是否合格。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检查 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种光学检查装置，其特征在于包括：支承单元，放置检查对象物；第一照明单元，设置在所述支承单元的上部，产生短波长的第一光，并向放置在所述支承单元上的所述检查对象物照射该第一光；以及拍摄单元，拍摄所述第一光所照射的所述检查对象物。
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