[发明专利]具有剥离层的成型用模具或电铸母模

摘要

本发明涉及成型用模具或电铸母模，其特征在于，使模具或母模与含有式[1]Rn-Si-X4-n……[1](式[1]中，R表示可以具有取代基的C1～20烃基、可以具有取代基的C1～20卤代烃基、含有连接基的C1～20烃基或含有连接基的C1～20卤代烃基，X表示羟基、卤素原子、C1～C6的烷氧基或酰氧基，n表示1～3的整数。)表示的硅烷类表面活性剂及可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使模具表面或母模表面形成含有耐磨损性及剥离性能优异的有机薄膜的脱模层。

主权项

成型用模具，其特征在于，使在成型用模具表面施加有μm级以下的微细图案的成型用模具与含有式[1]Rn-Si-X4-n    ……[1]表示的硅烷类表面活性剂及可以与该硅烷类表面活性剂进行相互作用的催化剂的有机溶剂溶液进行接触，从而使成型用模具表面形成含有有机薄膜的脱模层，所述式[1]中，R表示可以具有取代基的C1～20烃基、可以具有取代基的C1～20卤代烃基、含有连接基的C1～20烃基或含有连接基的C1～20卤代烃基，X表示羟基、卤素原子、C1～C6的烷氧基或酰氧基，n表示1～3的整数。