[发明专利]低温泵及低温泵的监控方法有效

专利信息
申请号: 201010230201.2 申请日: 2010-07-13
公开(公告)号: CN101963144A 公开(公告)日: 2011-02-02
发明(设计)人: 木村敏之 申请(专利权)人: 住友重机械工业株式会社
主分类号: F04B37/08 分类号: F04B37/08;F04B49/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈萍
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种低温泵及低温泵的监控方法,其实现适合于安装有低温泵的真空装置中的真空处理的运行状态的监视。低温泵从进行真空处理的真空装置的真空腔对气体进行排气。低温泵具备冷冻机、由冷冻机冷却的低温板、控制冷冻机的运行频率以将低温板控制在目标温度的控制部。控制部在冷冻机的运行频率达到第1判定基准时,对运行频率进行第1判定时间的监控,在运行频率达到相当于比第1判定基准更高负载的第2判定基准时,对低温板的温度进行短于第1判定时间的第2判定时间的监控。
搜索关键词: 低温泵 监控 方法
【主权项】:
一种低温泵,从进行真空处理的真空装置的真空腔对气体进行排气,其特征在于,具备:冷冻机;低温板,由所述冷冻机冷却;以及控制部,控制所述冷冻机的运行频率以便将所述低温板控制在目标温度,所述控制部,在所述冷冻机的运行频率达到第1判定基准时,对所述运行频率进行第1判定时间的监控,在所述运行频率达到相当于比所述第1判定基准高负载的第2判定基准时,对所述低温板的温度进行短于所述第1判定时间的第2判定时间的监控。
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