[发明专利]制作工艺反应系统无效
| 申请号： | 201010235650.6 | 申请日： | 2010-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101907832A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 徐启源;郑鸿毅;萧鸿裕 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种制作工艺反应系统，其用来在一基板上进行一反应制作工艺。该制作工艺反应系统包含有一制作工艺反应室以及一喷气装置。该制作工艺反应室具有一闸口。该喷气装置设置于对应该闸口的位置上且位于该基板的上方，该喷气装置用于产生一清洁气流，该清洁气流具有一流动路径，且该流动路径与该基板间具有一夹角，该夹角实质上介于15度至25度。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 工艺 反应 系统 | ||
【主权项】：
一种制作工艺反应系统，其用来在一基板上进行一反应制作工艺，该制作工艺反应系统包含有：制作工艺反应室，其具有闸口；以及喷气装置，其设置于对应该闸口的位置上且位于该基板的上方，该喷气装置用于产生一清洁气流，该清洁气流具有一流动路径，且该流动路径与该基板间具有一夹角，该夹角实质上介于15度至25度。
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