[发明专利]去电装置的监视装置及监视方法及去电装置的监视用程序

摘要

本发明提供一种在进行半导体晶片的电气特性检查时，能够监视除去被处理体所带的静电的去电装置来进行高可靠性的电气特性检查的去电装置的监视装置、去电装置的监视方法及去电装置的监视用程序。本发明的去电装置的监视装置(监视电路)是监视相对地移动主卡盘和探针卡，在使主卡盘上的半导体晶片和探针卡接触来进行半导体晶片的电气特性检查时，使用放电开关电路从主卡盘除去半导体晶片所带的静电的去电装置的装置，具备：检测开关电路，其与去电装置的放电开关电路连动并且检测所述放电开关电路的误动作；检测驱动电路，其开闭该检测开关电路；以及判定电路，其通过检测开关电路判定放电开关电路的误动作。

主权项

一种去电装置的监视装置，其是监视相对地移动载置了被检查体的载置台和探针卡，在使所述载置台上的所述被检查体和所述探针卡电接触来进行所述被检查体的电气特性检查期间，使用放电开关电路使对所述载置台进行接地的接地用配线的电路闭合而从所述载置台除去所述被检查体所带的静电的去电装置的装置，所述去电装置的监视装置其特征在于，具备：检测开关电路，其与所述放电开关电路连动并且检测所述放电开关电路的误动作；检测驱动电路，其开闭该检测开关电路；以及判定电路，其通过所述检测开关电路判定所述放电开关电路的误动作。