[发明专利]球栅阵列测试座无效
| 申请号： | 201010245287.6 | 申请日： | 2010-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN102346199A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 谢君强;何俊明;王娜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26;G01R31/311 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种球栅阵列测试座，包括测试座盖以及和测试座盖相匹配的底座，用于测试球栅阵列器件，所述底座上设置有射源放置区，所述射源放置区为与放射源侧壁卡接的的闭合凸起，用于将放射源固定其内。采用本发明的测试座，大大增加了放射源加速测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 测试 | ||
【主权项】：
一种球栅阵列测试座，包括测试座盖以及和测试座盖相匹配的底座，用于测试球栅阵列器件，其特征在于，所述底座上设置有射源放置区，所述射源放置区为与放射源侧壁卡接的闭合凸起，用于将放射源固定其内。
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