[发明专利]芯片尺寸封装件及其制法有效

专利信息
申请号: 201010248507.0 申请日: 2010-08-05
公开(公告)号: CN102376590A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 张江城;柯俊吉;黄建屏 申请(专利权)人: 矽品精密工业股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28;H01L23/485
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;张硕
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种芯片尺寸封装件及其制法,是在芯片作用面上设一保护层,并使芯片以非作用面固定于硬质透明载具上,进行封装模压工艺及移除该保护层,接着再进行重布线工艺,藉以避免现有将芯片作用面直接粘置于胶膜上发生胶膜软化、封装胶体溢胶或翘曲及芯片偏移与污染问题,甚或造成后续重布线工艺的线路层与芯片焊垫接触不良,导致废品问题,且该透明载具在制造工艺中可通过激光分离而重复使用,以节省制造成本。
搜索关键词: 芯片 尺寸 封装 及其 制法
【主权项】:
一种芯片尺寸封装件的制法,其特征在于,包括:提供多个具相对作用面及非作用面的芯片及一透明载具,该芯片作用面上设有多个焊垫;在该芯片作用面上覆盖有保护层;将该芯片通过其非作用面而固定于该透明载具上;以第一包覆层包覆该芯片并外露出该芯片作用面上的保护层;移除该保护层以外露出该芯片作用面;在该芯片作用面及第一包覆层上设置介电层,并使该介电层形成开口以外露出该焊垫;以及在该介电层上形成线路层,并使该线路层电性连接至该焊垫。
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