[发明专利]探针单元及使用该探针单元的测试装置

摘要

本发明提供探针单元以及使用该探针单元的测试装置。目的在于提供一种不用在探针基座上设置布线通孔就能使电连接件通向探针基座上侧的构造。探针单元包括：探针基座，其为板状；支承台，其配置在该探针基座上；探针装置，其被支承在该支承台上、且具有多个具有前端针尖和后端针尖的探针；电连接件，其自该探针装置向后方延伸、且具有多条沿前后方向延伸的布线，各布线的前端部与后端针尖相连接。支承台具有向前方、后方以及下方敞开的空间。电连接件的后部侧的区域被引导向探针基座的上侧、并经过支承台的空间而延伸。

主权项

一种探针单元，其中，该探针单元包括：探针基座，其为板状；支承台，其配置在该探针基座上；探针装置，其被支承在该支承台上，且具有多个具有前端针尖和后端针尖的探针；电连接件，其自该探针装置向后方延伸，且具有多条沿前后方向延伸的布线，各布线的前端部与上述后端针尖相连接；上述支承台具有向前方、后方以及下方敞开的空间；上述电连接件的后部侧的区域被引导向上述探针基座的上侧、并经过上述支承台的上述空间而延伸。