[发明专利]具有传感器的掩膜版盒

摘要

本发明公开了一种于外部容器与内部容器间配置压力传感器的掩膜版盒，是利用设置于外部容器内侧的压力传感器来感测外部容器与内部容器间的压力，经由对感测压力的判读来判断其内部容器是否被外部容器紧实地固定。

主权项

一种具有传感器的掩膜版盒，其特征在于包括：一下盖板，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有多个固定件；一上盖板，具有一第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一外表面，且配置至少一贯穿该外表面及该第二内表面的贯穿孔，且于该下盖板与该上盖板盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间；一子下盖板，位于该第一容置空间内并与该多个固定件接触，且该子下盖板具有一子第一内表面；一子上盖板，位于该第一容置空间内，其具有一子第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一子外表面，且于该子下盖板与该子上盖板盖合时，该子第一内表面与该子第二内表面形成一第二容置空间；以及至少一传感器，配置于该贯穿孔内，每一该传感器具有一感测端，且该感测端位于该上盖板的第二内表面上。