[发明专利]反射式画素数组基板及其制作方法有效
| 申请号： | 201010261985.5 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN101963731A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 黄凯泓;王丽雯 | 申请（专利权）人： | 福建华映显示科技有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1333;H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350015 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反射式画素数组基板及其制作方法，此反射式画素数组基板，只需利用五道光罩即可形成其包含一基板、一薄膜晶体管、复数个凸块、一反射电极和一绝缘层，复数个凸块和基板之间的高低差使得位于凸块上方的反射电极具有一凹凸结构，其中薄膜晶体管中的闸极电极和凸块是由同一导电层形成，而汲极电极和反射电极相连，且汲极电极和反射电极是由同一导电层形成。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 素数 组基板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种反射式画素数组基板的制作方法，其特征在于：包括：提供一基板包含至少一画素区，且该画素区包含一反射区和一组件区；形成一第一导电层于该基板上；图案化该第一导电层以形成一闸极线、一闸极电极和一共通线于该组件区，并且形成复数个凸块于该反射区；形成一第一绝缘层覆盖该基板、该闸极线、该闸极电极、该共通线和该复数个凸块；形成一半导体层于该闸极电极上；形成一第二导电层于该第一绝缘层和该半导体层上；图案化该第二导电层以形成一源极线、一源极电极、一汲极电极位于该组件区以及一反射电极由该组件区延伸至该反射区，并且该反射电极与该等凸块重迭； 形成一第二绝缘层覆盖该组件区以及该反射区；以及图案化该第二绝缘层于该反射区形成复数个第一开口曝露出位于各该凸块正上方的该反射电极。
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