[发明专利]玻璃基板检查装置无效
| 申请号： | 201010263454.X | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102033067A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 家田雅常;下田勇一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够减少分割装置时的变形、振动，并且能够高精度地检查的玻璃基板的检查装置。本发明的玻璃基板检查装置具有：放置玻璃基板的检查平台；对上述玻璃基板照射检查光，并接收检查光由于玻璃基板的表面或者内部的异物而散射的散射光的光学部；具有使上述检查平台及上述光学部之中至少一方移动的驱动部的基台；以及设置上述基台的脚部，其特征在于，上述基台及上述检查平台之中至少上述基台沿上述移动的方向分割成多个，上述脚部用刚体构成。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板检查装置，具有：放置玻璃基板的检查平台；对上述玻璃基板照射检查光，并接收检查光从玻璃基板的表面或者内部散射的散射光的光学部；具有使上述检查平台及上述光学部之中至少一方移动的驱动部的基台；以及设置上述基台的脚部，其特征在于，上述基台及上述检查平台之中至少上述基台沿上述移动的方向分割成多个，上述脚部用刚体构成。
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