[发明专利]涂布装置

摘要

一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。

主权项

一种涂布装置，将涂布液涂布在基板上，其特征在于，具有：载物台，在其上表面上装载所述基板；喷嘴，在所述载物台上的空间，从其前端部喷出所述涂布液；局部环境生成机构，其对涂布空间局部性地供给规定气体，在规定的环境下进行所述涂布液的涂布，该涂布空间包括所述喷嘴喷出涂布液的空间以及所述涂布液所涂布的基板的涂布部位；喷嘴移动机构，其在所述载物台上的空间，在横贯该载物台面的方向使所述喷嘴往复移动；箱体，其包围着所述喷嘴移动机构而设置，并形成有所述喷嘴的至少一部分从该喷嘴移动机构侧向所述载物台侧突出而进行往复移动的开口部；气体膜生成部件，其具有喷射规定的气体的喷射口，生成遮蔽所述箱体的开口部的带状的气体膜。