[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法无效
| 申请号： | 201010267184.X | 申请日： | 2010-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102012376A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 谭小地 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/896 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 冯丽欣;武玉琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检查装置和缺陷检查方法。该缺陷检查装置包括：光源，其发射激光；反射镜组，其将所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉仪，其将所述单个波面分割为两个分波面，产生干涉条纹；摄像部，其获得由所述干涉仪产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。因此，可检测被测物体的宽度方向上较宽范围内的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检查装置，所述缺陷检查装置包括：光源，其发射激光；反射镜组，其将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉仪，其将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；摄像部，其获得由所述干涉仪产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据通过所述摄像部获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。
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