[发明专利]一种非易失性阻变存储器及其制备方法无效
申请号: | 201010270510.2 | 申请日: | 2010-09-01 |
公开(公告)号: | CN101969100A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 尚大山;董春颖;孙继荣;沈保根;赵同云 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24;G11C13/00 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 王勇 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种非易失性阻变存储单元及其制作方法。该非易失性阻变存储单元包括:绝缘衬底,在该绝缘衬底上的底电极,在该底电极上的存储介质层,以及在该存储介质层上的顶电极,其中所述存储介质层为AgxO薄膜,其中x的范围为1≤x≤2。在本发明中,AgxO(1≤x≤2)薄膜不但可以低温制备,而且电阻发生转变的电压很低(+/-0.3V),还具有自行调控电阻转变的方向的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 非易失性阻变 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种非易失性阻变存储单元,包括:绝缘衬底,在该绝缘衬底上的底电极,在该底电极上的存储介质层,以及在该存储介质层上的顶电极,其特征在于,所述存储介质层为AgxO薄膜,其中x的范围为1≤x≤2。
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