[发明专利]一种控制工艺腔体内温度的系统

摘要

本发明公开了一种控制工艺腔体内温度的系统，为安装于工艺腔体内的加热器提供期望电压，使得加热器在期望电压下为工艺腔体提供期望功率。系统包括：电压调节装置、输入端通过开关与电压调节装置的输出端相连接的加热器、连接在所述开关与加热器之间的温度控制器，通过电压调节装置将输入电压调节为加热器的期望电压并输出，并通过温度控制器根据工艺腔体内的温度和设置的温度范围，控制所述开关接通或断开。采用本发明技术方案，实现了根据工艺腔体内的温度与设定的温度范围控制加热器工作，从而保证工艺腔体内的温度稳定在设定的温度范围内，为工艺加工提供较好的温度条件。

主权项

一种控制工艺腔体内温度的系统，其特征在于，包括电压调节装置、输入端通过开关与电压调节装置的输出端相连接的加热器、连接在所述开关与加热器之间的温度控制器，其中加热器安装在工艺腔体中：电压调节装置，用于将输入电压调节为加热器的期望电压并输出；加热器，用于在所述电压调节装置输出的期望电压下工作；温度控制器，用于根据工艺腔体内的温度和设置的温度范围，控制所述开关接通或断开。