[发明专利]压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法有效
| 申请号： | 201010282243.0 | 申请日： | 2010-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN102398421A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 郑江河;黄启峰 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电致动模块及其所适用的压电喷墨头的制造方法，其是包括下列步骤：(a)形成上压电芯片及下压电芯片，上压电芯片及下压电芯片的第一表面是分别具有第一电极及第二电极；(b)通过导电层将第一电极及第二电极相互接合，以使上压电芯片与下压电芯片对应组接；(c)对上压电芯片的第二表面进行等间距切割；(d)对下压电芯片的第二表面进行与上压电芯片的第二表面等间距切割错位的切割，以形成多个开口上下交错的流道，以形成压电致动模块。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 模块 及其 适用 喷墨 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电致动模块的制造方法，其是包括下列步骤：(a)形成一上压电芯片及一下压电芯片，该上压电芯片及该下压电芯片的第一表面是分别具有一第一电极及一第二电极；(b)通过一导电层将该第一电极及该第二电极相互接合，以使该上压电芯片与该下压电芯片对应组接；(c)对该上压电芯片的一第二表面进行等间距切割；(d)对该下压电芯片的一第二表面进行与该上压电芯片的该第二表面等间距切割错位的切割，以形成多个开口上下交错的流道，以形成一压电致动模块。
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