[发明专利]高效气体过滤系统有效
| 申请号： | 201010285306.8 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102397728A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 吴良辉;金小斗;汪亚军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/12 | 分类号： | B01D46/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体领域，尤其涉及高效气体过滤系统。这种高效气体过滤系统，用于过滤进入机台的气体，包括位于机台上方的第一风扇组、通过调节第一风扇组的风力使得机台内的气压处于所需的设定范围，位于机台内顶部的第一过滤网组，所述第一过滤网组用于过滤从机台顶部进入机台内部的气体，还包括位于机台内底部的第二过滤网组。通过在机台内底部增设第二过滤网组，可以防止杂质粒子在高效气体过滤系统由于断电或维护等原因停止运行时混入机台内部，确保机台内部的生产不受杂质粒子影响。通过在机台的下方设置与第一风扇组相对应的第二风扇组，可以辅助第一风扇组调节机台内部的气压，确保机台内部气压始终处于所需的设定范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 气体 过滤 系统 | ||
【主权项】：
一种高效气体过滤系统，用于过滤进入机台的气体，包括位于机台上方的由若干风扇组成的第一风扇组，通过调节第一风扇组的风力使得机台内的气压处于所需的设定范围；位于机台内顶部的第一过滤网组，所述第一过滤网组用于过滤从机台顶部进入机台内部的气体，其特征在于，还包括位于机台内底部的第二过滤网组。
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