[发明专利]一种氮化镓基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体LED外延片及其生长方法有效

专利信息
申请号: 201010292838.4 申请日: 2010-09-27
公开(公告)号: CN101980383A 公开(公告)日: 2011-02-23
发明(设计)人: 季辉;梁智勇;艾建军;林振贤;何大庆 申请(专利权)人: 湘能华磊光电股份有限公司
主分类号: H01L33/04 分类号: H01L33/04;H01L33/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明
地址: 410007 *** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种氮化镓基III-V族化合物半导体LED外延片,包括有源层,有源层由一个或多个量子阱垒组成,量子阱垒自下而上依次包括阱层、第一垒层、第二垒层。本发明所提供的氮化镓基LED外延片通过改变有源层的生长方法,减少在高低温变化过程中引起的有源层中各晶粒间的内应力,进而提高外延片内量子效率和亮度。同时,在本发明中还提供了一种氮化镓基LED外延片的生长方法,该方法具有步骤简单、容易操作,效果明显的特点。
搜索关键词: 一种 氮化 化合物 半导体 led 外延 及其 生长 方法
【主权项】:
一种氮化镓基III‑V族化合物半导体LED外延片,包括有源层,其特征在于,所述有源层由一个或多个量子阱垒组成,所述量子阱垒自下而上依次包括阱层(51)、第一垒层(52)、第二垒层(53)。
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