[发明专利]显影机及其加显影液的系统和方法

摘要

本发明提供一种显影机及其加显影液的系统和方法，属于显影技术领域，其可解决现有的加显影的工艺可靠性差的问题。本发明的显影机加显影液的系统包括：带有控制阀的输液管道；液位传感器；用于驱动该控制阀开闭的驱动机构；控制器，用于接收液位传感器的测量结果，并根据测量结果向驱动机构发出控制信号从而控制该控制阀的开闭。本发明的显影机包括显影液罐和上述的显影机加显影液的系统。本发明的显影机加显影液的方法包括：用液位传感器测量显影液罐中显影液的液位，并将测量结果发送给控制器；当液位为第一液位时，控制器控制驱动机构打开输液管道上的控制阀，通过输液管道向显影液罐输送显影液。本发明可用于半导体制造工艺中。

主权项

一种显影机加显影液的系统，包括：带有控制阀的输液管道，连接在显影液供液系统和显影机的显影液罐间，用于从所述显影液供液系统向所述显影液罐输送显影液；液位传感器，用于测量所述显影液罐中显影液的液位；其特征在于，所述显影机加显影液的系统还包括：驱动机构，用于驱动所述控制阀的开闭；控制器，用于接收所述液位传感器的测量结果，并根据所述测量结果向所述驱动机构发出控制信号从而控制所述控制阀的开闭。