[发明专利]悬臂式压电头结构的制造方法

摘要

本发明为一种悬臂式压电头结构的制造方法，包含步骤：提供固定座；将喷孔板仅单侧设置于固定座上，并于喷孔板上涂布干膜层；提供多个中间流道板设置于喷孔板之上，使每一中间流道板的出液流道与固定座的供液流道相连通，并于中间流道板上涂布干膜层；提供振动板设置封盖于中间流道板上方，以于固定座上形成多个基板；将干膜层完全固化定位于基板的各板层；提供致动片对应贴附设置于多个基板上；对致动片以形成每一基板的两侧边进行直线切割，促使致动片对应于基板之处分别产生多个致动单元，以形成悬臂式压电头结构。

主权项

一种悬臂式压电头结构的制造方法，至少包含步骤：(a)提供一固定座，其具有一供液流道；(b)将具有一喷嘴孔的喷孔板仅单侧设置于该固定座上，并于该喷孔板上涂布一干膜层；(c)提供多个具有出液流道的中间流道板设置于该喷孔板之上，以使每一该中间流道板的该出液流道与该固定座的该供液流道相连通，并于该中间流道板上涂布一干膜层；(d)提供一振动板设置封盖于该中间流道板上方，以于该固定座上形成多个基板；(e)以该基板上下同时加温的方式进行一热压，且于施压的状态下降温至接近室温时达成该干膜层完全固化定位于该基板的各板层；(f)提供一致动片对应贴附设置于该多个基板上；(g)对该致动片以形成每一该基板的两侧边进行直线切割，促使该致动片对应于该基板之处分别产生多个致动单元，以形成一悬臂式压电头结构。