[发明专利]基板的研磨方法及其装置无效
| 申请号： | 201010297336.0 | 申请日： | 2010-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN102416598A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 渡边逸郎;久保岳 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种适于大型玻璃基板的研磨的玻璃基板的研磨方法及其装置。本发明的研磨装置(10)将玻璃基板(G)贴合于在托架(52)上装卸自如的膜框(14)上，在研磨结束后，在远离第二研磨台(20)的工作台(22)上，将研磨结束后的玻璃基板(G)从膜框(14)卸下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种基板的研磨方法，其特征在于，具有：在铺设有可贴合基板的膜体的膜框上贴合基板并将该膜框安装于托架的工序、或者将铺设有可贴合基板的膜体的膜框安装于托架并将基板贴合在该膜框上的工序；使安装了该膜框的托架和研磨平台相对接近，将贴合在所述膜体上的基板的研磨面按压在所述研磨平台上进行研磨的工序；及在基板研磨结束后从所述托架卸下所述膜框并从该膜框卸下所述基板的工序、或在基板研磨结束后从所述膜框卸下所述基板并从所述托架卸下所述膜框的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭硝子株式会社，未经旭硝子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010297336.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
