[发明专利]一种光掩模在清洗过程中的传输方法

摘要

本发明公开了一种光掩模在清洗过程中的传输方法，首先将光掩模放置于卡盘上，然后机械手抓住卡盘，并将其移动至翻转装置上，翻转装置将卡盘上的光掩模翻转，然后机械手再次抓住卡盘，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗，清洗完成后机械手抓住卡盘底部的把手，并将其送回翻转装置上，翻转装置再次将卡盘上的光掩模翻转，最后机械手抓住卡盘，并将其送回初始位置。本发明为光掩模提供了一个随行的卡盘，在移动光掩模的过程中，机械手只接触卡盘而并不与光掩模直接接触，这种方法解决了现有技术中机械手容易污染、损坏光掩模的缺点。

主权项

一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于具有以下步骤：①先将光掩模放置于卡盘(2)上；②机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其移动至翻转装置上；③翻转装置将卡盘(2)上的光掩模翻转；④机械手(1)再次抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗；⑤清洗完成后机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其送回翻转装置上；⑥翻转装置再次将卡盘(2)上的光掩模翻转；⑦机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其送回初始位置。