[发明专利]使用芯片的检查装置有效
| 申请号： | 201010502678.1 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102042957A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 小川义正;金田和之 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/15 | 分类号： | G01N21/15;G01N21/01 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用芯片的检查装置，抑制了对检测样品所用的测光部等光学部件的异物附着。该使用芯片的检查装置，具备：转子(5)，保持芯片(4)；测量室(7)，收存转子(5)，并设置贯穿孔(71)；光源(84)，穿过贯穿孔(71)，对芯片(4)照射测量用的光；测光部(8)，检测来自芯片(4)的光；旋转驱动机构(6)，对转子(5)进行旋转驱动，其特征在于，在贯穿孔(71)和使光通过的测光部(8)的开口部(81)之间，具备能够遮蔽或者非遮蔽开口部(81)的遮蔽体(9)，在不对芯片(4)照射光时以及不由测光部(8)进行检测时，利用遮蔽体(8)来遮蔽上述开口部(81)。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 芯片 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种使用芯片的检查装置，具备：转子，保持芯片；测量室，收存该转子，并设置有贯穿孔；光源，穿过上述贯穿孔，对上述芯片照射测量用的光；测光部，检测来自上述芯片的光；以及旋转驱动机构，对上述转子进行旋转驱动，其特征为，在上述贯穿孔和使光通过的测光部的开口部之间，具备能够遮蔽或者非遮蔽上述开口部的遮蔽体，在不对上述芯片照射光时以及不由测光部进行检测时，利用上述遮蔽体来遮蔽上述开口部。
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