[发明专利]硬质涂层、具有该涂层的被覆件及其制备方法无效
| 申请号： | 201010510348.7 | 申请日： | 2010-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102443775A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;彭立全 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;B32B9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硬质涂层，该硬质涂层包括一纳米复合层，该纳米复合层包括若干TiN层和若干SiCN层，所述TiN层和SiCN层交替排布。本发明还提供一种具有该硬质涂层的被覆件以及该被覆件的制备方法。本发明的硬质涂层硬度高，具有较好的耐磨性能和高温抗氧化性能。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 涂层 具有 被覆 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硬质涂层，该硬质涂层包括一纳米复合层，其特征在于：该纳米复合层包括若干TiN层和若干SiCN层，所述TiN层和SiCN层交替排布。
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