[发明专利]切膜刀具及切膜设备有效
| 申请号： | 201010516841.X | 申请日： | 2010-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN102019630A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 张明星;孙耀 | 申请（专利权）人： | 上海技美电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B26D7/26 | 分类号： | B26D7/26;B26D7/27;B26D7/01;B26D1/01;B26D3/00 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201108 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种切膜刀具，包括刀片，其特征在于，所述刀片角度可调地安装于支架上；还包括第一弹性复位装置，第一弹性复位装置可随着刀片角度的变化而产生弹性变形力，该弹性变形力可使刀片回复至角度未变化的状态。使用本发明中的切膜刀具或切膜设备，改变了原有的切割刀装置在晶圆直边交界处会产生飞边的不足，不管对于何种形状的晶圆还是其它需要切割薄膜的基体，在切割时都不会产生飞边，提高了贴膜品质。使用本发明中的切割刀具，对操作人员的要求低，且可以提高企业生产效率，节省生产成本；可确保晶圆的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 刀具 设备 | ||
【主权项】：
切膜刀具，包括刀片，其特征在于，所述刀片角度可调地安装于支架上；还包括第一弹性复位装置，第一弹性复位装置可随着刀片角度的变化而产生弹性变形力，该弹性变形力可使刀片回复至角度未变化的状态。
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