[发明专利]工艺数据分析方法和系统有效
| 申请号： | 201010520658.7 | 申请日： | 2010-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102456083A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 刘振华 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺数据分析方法和系统，其中的方法具体包括：针对查询得到的工艺数据，进行自顶向下的逐级筛选，定位到分析对象；设置所述分析对象的曲线属性；依据所述曲线属性，绘制相应分析对象的曲线；依据所述曲线，对相应分析对象进行分析。本发明用以便捷、高效地进行工艺数据的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 数据 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种工艺数据分析方法，其特征在于，包括：针对查询得到的工艺数据，进行自顶向下的逐级筛选，定位到分析对象；设置所述分析对象的曲线属性；依据所述曲线属性，绘制相应分析对象的曲线；依据所述曲线，对相应分析对象进行分析。
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