[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 201010521455.X | 申请日： | 2010-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102453878A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，其包括一个镀膜腔体，及一个同心料架。所述同心料架设置于所述镀膜腔体内部，所述同心料架可以绕其自身的中心轴旋转。所述同心料架具有一个内圈料架，及一个围绕所述内圈料架且与所述内圈料架相连接的外圈料架。所述内圈料架的中央区域设置有至少一个柱状的内靶座，所述外圈料架的外围设置有多个柱状的外靶座，所述内靶座与所述外靶座均用于设置镀膜靶材。所述镀膜装置采用同心设置的内圈料架与外圈料架，且分别在内圈料架的中央区域及外圈料架的外围设置柱状的靶座，可有效地降低设置于不同靶座的靶材之间相互干扰，保证镀膜质量，且有利于控制靶材，提高靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，其包括：一个镀膜腔体；及一个同心料架，所述同心料架设置于所述镀膜腔体内部，所述同心料架可以绕其自身的中心轴旋转；其特征在于：所述同心料架具有一个内圈料架，及一个围绕所述内圈料架且与所述内圈料架相连接的外圈料架；所述内圈料架的中央区域设置有至少一个柱状的内靶座，所述外圈料架的外围设置有多个柱状的外靶座，所述内靶座与所述外靶座均用于设置镀膜靶材。
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