[发明专利]多晶硅生产装置有效
| 申请号： | 201010525861.3 | 申请日： | 2010-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101966991A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 郑飞龙;周积卫;茅陆荣 | 申请（专利权）人： | 上海森松压力容器有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 陈贞健 |
| 地址： | 200137 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的多晶硅生产装置，包括：底盘；钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设置多晶硅棒；所述中间接管底部设置工艺气体入口、反应器冷却油入口与反应器冷却油出口。利用本发明生产多晶硅，可以有效降低反应器内无定形硅的生长，减少装置的污染，提高多晶硅的转化率与纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 装置 | ||
【主权项】：
多晶硅生产装置，其特征在于，包括：底盘；钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设置多晶硅棒；所述中间接管底部设置工艺气体入口、反应器冷却油入口与反应器冷却油出口。
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