[发明专利]液晶取向层的制作方法有效
| 申请号： | 201010528563.X | 申请日： | 2008-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN102033361A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 路林林 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;C23C14/34;C23C14/58;C23C16/455;C23C16/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液晶取向层的制作方法，包括下述步骤：(1)设置沉积仓，在沉积仓的阴极侧设有靶材，在沉积仓的阳极侧设有玻璃基板；(2)将沉积仓抽至真空状态；(3)向沉积仓内注入惰性气体；(4)对玻璃基板和靶材施加直流高压，在电场作用及一定气体压力条件下，靶材溅射出靶材原子，沉积在所述玻璃基板上形成取向膜；惰性气体的气体压力为50～6000Pa；(5)采用与玻璃基板具有一定相对角度和斜偏角度的离子枪，对所述玻璃基板表面的取向膜进行离子轰击，在取向膜上形成取向槽，从而形成液晶取向层。本发明可使液晶取向层的取向更一致，进而提高液晶显示器的显示品质；另外，还可以降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶 取向 制作方法 | ||
【主权项】：
一种液晶取向层的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：(1)设置沉积仓，在沉积仓的阴极侧设有靶材，在沉积仓的阳极侧设有玻璃基板；(2)将所述沉积仓抽至真空状态；(3)向所述沉积仓内注入惰性气体；(4)对所述玻璃基板和靶材施加直流高压，在电场作用及一定气体压力条件下，靶材溅射出靶材原子即碳原子，沉积在所述玻璃基板上形成取向膜；惰性气体的气体压力为50～6000Pa；(5)采用与所述玻璃基板具有一定相对角度和斜偏角度的离子枪，对所述玻璃基板表面的取向膜进行离子轰击，在取向膜上形成取向槽，从而形成液晶取向层；所述相对角度为离子轰击形成的取向槽相对玻璃基板水平方向上的偏移角度，所述斜偏角度为预期要求的液晶分子的预倾角度。
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