[发明专利]探测装置以及衬底运送方法有效
| 申请号： | 201010532051.0 | 申请日： | 2010-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102116835A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 带金正;矢野和哉;山田浩史;铃木胜;山本保人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;H01L21/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷;南霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供探测装置以及探针装置中的衬底运送方法。探测装置包括：配置在直线上的多台探测检查室；以及具有衬底运送机构的装载室，其中衬底运送机构从配置在比探测检查室靠上的位置的收纳容器中取出被检查衬底，在将被检查衬底下降到探测检查室的运入运出口的高度之后，在探测检查室的列的前方与该列平行地移动，并将从收纳容器取出的被检查衬底运送到探测检查室内；并且在使衬底运送机构在探测检查室的列的前方与该列平行地移动的水平移动机构上设置有读取机构，该读取机构用于读取被衬底运送机构支承的被检查衬底上所记录的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 装置 以及 衬底 运送 方法 | ||
【主权项】：
一种探测装置，包括：配置在直线上的多台探测检查室；以及具有衬底运送机构的装载室，其中所述衬底运送机构从配置在比所述探测检查室靠上的位置的收纳容器中取出被检查衬底，在将被检查衬底下降到所述探测检查室的运入运出口的高度之后，在所述探测检查室的列的前方与该列平行地移动，并将从收纳容器取出的被检查衬底运送到所述探测检查室内；并且所述探测装置通过使探测卡的探测器与载置在所述探测检查室内所设置的载置台上的被检查衬底上的电极触点接触，来测定所述被检查衬底的被检查芯片的电特性，所述探测装置的特征在于，在使所述衬底运送机构在所述探测检查室的列的前方与该列平行地移动的水平移动机构上设置有读取机构，所述读取机构用于读取被所述衬底运送机构支承的被检查衬底上所记录的信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010532051.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种废弃物处理系统及其实现方法
- 下一篇：滑动接点材料
