[发明专利]芯片参数测试的数据处理方法无效
| 申请号： | 201010535242.2 | 申请日： | 2010-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102135597A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 冯程程;叶红波;唐逸 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种芯片参数测试的数据处理方法，包括：提供一晶圆，所述晶圆上包括n个芯片，其中，n为大于1的整数；分别定义所述n个芯片在晶圆中的位置坐标；分别测量i个芯片的性能参数，并将测量值记录在存储模块中，其中，i为大于1的整数，i≤n，并且，每个芯片对应一个存储模块，并根据芯片的位置坐标命名相对应的存储模块的名称；分别读取第1个至第i个存储模块中的所述测量值；将读取的所述测量值导出，并根据目标值对所述测量值进行分析，以找出晶圆上不符合规格的芯片。本发明提供的芯片参数测试的数据处理方法，大大缩短了芯片参数测量者的提取周期，加快了芯片开发和工艺开发的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 参数 测试 数据处理 方法 | ||
【主权项】：
一种芯片参数测试的数据处理方法，包括：提供一晶圆，所述晶圆上包括n个芯片，其中，n为大于1的整数；分别定义所述n个芯片在晶圆中的位置坐标；分别测量i个芯片的性能参数，并将测量值记录在存储模块中，其中，i为大于1的整数，i≤n，并且，每个芯片对应一个存储模块，并根据芯片的位置坐标命名相对应的存储模块的名称；分别读取第1个至第i个存储模块中的所述测量值；将读取的所述测量值导出，并根据目标值对所述测量值进行分析，以找出晶圆上不符合规格的芯片。
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