[发明专利]光伏装置及薄膜太阳能电池的制造方法

摘要

本发明公开光伏装置及薄膜太阳能电池的制备方法。本光伏装置的制造方法包括利用纳米压印(nanoimprint)技术定义光伏装置的各个电池单元，以制备光伏电池。本方法可包括提供一基板；在基板上形成第一导电层；以纳米压印及蚀刻工艺在第一导电层中形成第一凹槽；在第一导电层上形成吸收层，该吸收层填入第一凹槽中；以纳米压印工艺在吸收层中形成第二凹槽；在吸收层上形成第二导电层，该第二导电层填入第二凹槽中；在第二导电层及吸收层中形成第三凹槽，从而定义光伏电池单元。本发明的纳米压印提供高准确图案化，光伏电池中对位可因而提升。再者，纳米压印技术与传统制造方法相反，可轻易的进行传统的卷轴式制造工艺，而简化光伏装置的制造，并降低制造成本。

主权项

一种光伏装置的制造方法，包括：提供一基板；在该基板上形成一第一导电层；利用一纳米压印及蚀刻工艺，在该第一导电层中形成第一凹槽；在该第一导电层上形成一吸收层，该吸收层填入该第一凹槽中；利用一纳米压印工艺在该吸收层中形成第二凹槽；在该吸收层上形成一第二导电层，该第二导电层填入该第二凹槽中；以及在该第二导电层及该吸收层中形成第三凹槽，借以定义一光伏电池单元。