[发明专利]一种平衡机台产能的方法和装置

摘要

本发明提供了一种平衡机台产能的方法，该方法建立了平衡机台产能的机制，通过建立执行当前工序的第一机台组和执行下一道工序的第二机台组的负荷之间的联系，控制第一机台组优先处理负荷不足的第二机台所需的晶片组，有效避免了机台产能不足，提高了半导体生产效率，降低了生产成本。

主权项

一种平衡机台产能的方法，设置具有不同工艺流程的多个晶片组，每个晶片组都进入第一机台组加工，所述工艺流程存储在工艺流程模块中，由平衡机台设置模块根据所述工艺流程，设置每个晶片组与将要加工该晶片组的第二机台组的对应关系，该方法还包括：对每个晶片组，实时派工系统控制模块从所述平衡机台设置模块中查询将要加工该晶片组的第二机台组，并计算工厂全部晶片组中，待处理工序处于所述第一机台组加工工序与所述第二机台组加工工序之间的晶片总数；目标晶片数量模块统计该晶片组需要进入所述第二机台组加工的目标晶片总数，偏离率计算排序模块将所述晶片总数除以所述目标晶片总数，所得的商值作为该晶片组的偏离率，由偏离率存储模块建立并存储偏离率与晶片组的对应关系；偏离率计算排序模块将每个晶片组的偏离率按大小排序得到较小的偏离率，根据所述偏离率与晶片组的对应关系，由所述实时派工系统控制模块控制所述第一机台组优先处理所述较小的偏离率对应的晶片组。