[发明专利]半导体封装件的制造方法及制造其的封装模具有效
申请号: | 201010564544.2 | 申请日: | 2010-11-16 |
公开(公告)号: | CN102064118A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 陈天赐;陈光雄;王圣民;冯相铭;李育颖;郑秉昀 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L23/34;H01L23/28;H01L21/56 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈亮 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种半导体封装件的制造方法及制造其的封装模具,制造方法包括以下步骤。首先,提供散热片。然后,提供待封装元件,待封装元件包括基板及数个半导体元件,半导体元件设于基板上。然后,形成封装体于散热片与待封装元件之间,其中封装体包覆半导体元件。然后,形成数道第一切割狭缝,其中第一切割狭缝经过散热片及封装体的一部分。然后,形成数道第二切割狭缝,其中第二切割狭缝经过基板及封装体的其余部分并延伸至第一切割狭缝。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 制造 方法 模具 | ||
【主权项】:
一种半导体封装件的制造方法,包括:提供一散热片;提供一待封装元件,该待封装元件包括一基板及多个半导体元件,该些半导体元件设于该基板上;形成一封装体于该散热片与该待封装元件之间,其中该封装体包覆该些半导体元件;形成多道第一切割狭缝,其中该些第一切割狭缝经过该散热片及该封装体的一部分;以及形成多道第二切割狭缝,其中该些第二切割狭缝经过该基板及该封装体的其余部分并延伸至对应的该第一切割狭缝。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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