[发明专利]基板搬送设备

摘要

本发明提供一种能够准确地进行基板移载装置对基板的移载的基板搬送设备。基板搬送设备包括容器、容器搬送装置以及位置调整机构，容器具备：容器主体，具有使基板出入的出入口和能以基板沿上下方向隔开间隔的状态收纳多张基板的基板收纳空间；载置支承部件，能够载置支承容器主体并且具有在载置支承有容器主体的状态下向基板收纳空间送出清洁空气的风机过滤机组，容器搬送装置以载置支承有容器主体的载置支承部件相对于支承台从上方载置支承的方式将容器搬送到支承台，位置调整机构通过在容器载置支承于支承台的状态下与容器主体直接抵接，将容器主体在水平方向的位置调整到用于由基板移载装置通过出入口移载基板的基板移载用位置。

主权项

一种基板搬送设备，其包括：容器搬送装置，其用于将容器搬送至基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间；以及基板移载装置，其相对于载置支承于所述支承台的所述容器，通过形成于所述容器的侧部的出入口移载基板，以便取出基板和收纳基板，其特征在于，所述容器构成为具有：容器主体，其具有所述出入口和所述空间；以及载置支承部件，其能够载置支承所述容器主体，并且具有在载置支承有所述容器主体的状态下向所述空间送出清洁空气的风机过滤机组，所述容器搬送装置构成为：以使载置支承有所述容器主体的所述载置支承部件相对于所述支承台从上方载置支承的方式，将所述容器搬送到所述支承台，所述基板搬送设备具有位置调整机构，该位置调整机构通过在所述容器载置支承于所述支承台的状态下与所述容器主体直接抵接，来将所述容器主体在水平方向的位置调整到用于由所述基板移载装置移载基板的基板移载用位置。