[发明专利]有机发光显示装置、其制造方法及表面处理设备

摘要

提供了一种制造有机发光显示装置的方法、用于有机发光显示装置的表面处理装置以及有机发光显示装置。为了容易地形成有机发射层，该方法包括：在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成具有开口的像素限定层，所述开口露出所述第一电极的预定部分；在所述像素限定层和通过所述开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；用激光有选择性地对所述电荷承载层的表面的部分进行疏水处理，其中这些部分不对应于所述开口；在所述电荷承载层上形成有机发射层；并且在所述有机发射层上形成第二电极以便与所述有机发射层电连接。

主权项

一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成具有第一开口的像素限定层，所述第一开口使所述第一电极的预定部分露出；在所述像素限定层和通过所述第一开口露出的所述第一电极上形成电荷承载层；用激光和反应气选择性地对所述电荷承载层的表面的第一部分进行疏水处理，其中所述第一部分不对应于所述开口；在所述电荷承载层上形成有机发射层；并且形成第二电极以与所述有机发射层电连接。