[发明专利]静电致动器有效
| 申请号： | 201010573402.2 | 申请日： | 2010-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102185517A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 益永孝幸;山崎宏明 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 陈海红;周春燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 致动器 | ||
【主权项】：
一种静电致动器，其特征在于，具备：设置在基板上的电极部；与所述电极部相对而设置的导电性的膜体部；设置于所述导电性的膜体部的第1周边部的、支撑所述膜体部的多个第1加载部；以及设置在与所述第1周边部相对的第2周边部的、支撑所述膜体部的多个第2加载部；并且所述静电致动器构成为，通过对所述电极部设定预定值的电压，所述电极与所述导电性的膜体部接触或者脱离；在所述多个第1加载部的各个之间以及在所述第2加载部的各个之间，其刚性相互不同。
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