[发明专利]一种载板清洗方法、装置及基片镀膜设备有效
| 申请号： | 201010579610.3 | 申请日： | 2010-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN102485357A | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 姚立强 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B5/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种载板清洗方法，至少包括步骤20：向载板表面喷射清洗介质，以去除附着在载板表面的膜层。本发明还提供一种载板清洗装置，其至少包括载板清洗模块，用于向载板表面喷射清洗介质，以去除附着在载板表面的膜层。本发明提供的载板清洗方法和/或装置能够在基片镀膜设备中实现载板的在线清洗，并且具有清洗效率高、清洗彻底等优点。此外，本发明还提供一种应用上述载板清洗方法和/或装置的基片镀膜设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 方法 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种载板清洗方法，用于对基片镀膜设备中的载板进行清洗，以去除附着在所述载板表面的膜层；其特征在于，所述方法至少包括下述步骤：20)向所述载板表面喷射清洗介质，以去除附着在所述载板表面的膜层。
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