[发明专利]工艺数据的获取方法和装置、设备控制系统有效
| 申请号： | 201010583993.1 | 申请日： | 2010-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN102540983A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈玉静;李娟娟;杨洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种工艺数据的获取方法和装置、一种设备控制系统，其中的方法具体包括：上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。本发明的技术方案，能够消除数据处理模块与下位机的数据通信对上位机与下位机的数据通信的影响，且在避免上位机与下位机之间的数据通信失败的同时，提高二者数据通信的有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 数据 获取 方法 装置 设备 控制系统 | ||
【主权项】：
一种工艺数据的获取方法，其特征在于，包括：上位机基于订阅机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据；数据处理模块使用主动读取机制，获取下位机的数据对象所对应的工艺数据。
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