[发明专利]用于复合镀电沉积的电镀装置无效

专利信息
申请号: 201010593678.7 申请日: 2010-12-17
公开(公告)号: CN102051656A 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 张锦秋;马今朝;安茂忠;孙春翔;王海博 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: C25D15/00 分类号: C25D15/00;C25D17/00;C25D21/10
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 刘同恩
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 用于复合镀电沉积的电镀装置,它涉及一种复合电镀装置,以解决倾斜阴极法电沉积复合镀层时,阳极不能倾斜固定在镀槽中,阴极倾斜角度不易控制,造成复合镀的工艺参数不稳定及镀槽底部没有空气入口的问题。框支架的敞开面与底座上的数个调整孔垂直设置,镀槽固定圈套装在镀槽的外侧壁上,镀槽和镀槽固定圈的组件设置在框支架中,且斜面的高点一侧朝向调整孔,镀槽固定圈通过转轴与框支架连接,通气管的输出端设置在镀槽内,第一镀槽调整杆、第二镀槽调整杆、第三镀槽调整杆、第四镀槽调整杆、第五镀槽调整杆、第六镀槽调整杆、第七镀槽调整杆和第八镀槽调整杆由镀槽至底座的后部依次设置在调整孔中且调整杆高度逐渐减小。本发明用于金属表面处理。
搜索关键词: 用于 复合 沉积 电镀 装置
【主权项】:
一种用于复合镀电沉积的电镀装置,其特征在于:所述装置包括镀槽(1)、底座(2)、框支架(3)、镀槽固定圈(4)、两个转轴(5)、第一调整方圈(6‑1)、第一挂钩(7‑1)、第一镀槽调整杆(8‑1)、第二调整方圈(6‑2)、第二挂钩(7‑2)、第二镀槽调整杆(8‑2)、第三调整方圈(6‑3)、第三挂钩(7‑3)、第三镀槽调整杆(8‑3)、第四调整方圈(6‑4)、第四挂钩(7‑4)、第四镀槽调整杆(8‑4)、第五调整方圈(6‑5)、第五挂钩(7‑5)、第五镀槽调整杆(8‑5)、第六调整方圈(6‑6)、第六挂钩(7‑6)、第六镀槽调整杆(8‑6)、第七调整方圈(6‑7)、第七挂钩(7‑7)、第七镀槽调整杆(8‑7)、第八调整方圈(6‑8)、第八挂钩(7‑8)、第八镀槽调整杆(8‑8)、通气管(9)、第一胶管(10)、气量计(11)、第二胶管(12)、气泵(13)和两个固定板(14),框支架(3)固装在底座(2)上端面的一端,底座(2)的上端面上由框支架(3)向底座(2)的另一端之间的中心线上依次设有数个调整孔(2‑1),且框支架(3)沿底座(2)的宽度方向设置,镀槽固定圈(4)套装在镀槽(1)的外侧壁上,镀槽(1)的底端外形为半球形,镀槽(1)的中部横截面为矩形,镀槽(1)的上端面为斜面(1‑1),镀槽(1)和镀槽固定圈(4)的组件设置在框支架(3)中,且斜面(1‑1)的高点一侧朝向调整孔(2‑1),镀槽固定圈(4)与框支架(3)对应处通过一个转轴(5)与框支架(3)连接,镀槽(1)的下部设有进气孔(1‑2),通气管(9)的输出端穿过进气孔(1‑2)设置在镀槽(1)内,通气管(9)输入端通过第一胶管(10)与气量计(11)连接,气量计(11)通过第二胶管(12)与气泵(13)连接,两个固定板(14)设置在镀槽(1)内且靠近斜面(1‑1)的低点一侧,两个固定板(14)以底座(2)长度方向的中心线为基准对称设置在镀槽(1)两侧的内壁上,第一镀槽调整杆(8‑1)、第二镀槽调整杆(8‑2)、第三镀槽调整杆(8‑3)、第四镀槽调整杆(8‑4)、第五镀槽调整杆(8‑5)、第六镀槽调整杆(8‑6)、第七镀槽调整杆(8‑7)和第八镀槽调整杆(8‑8)由镀槽(1)至底座(2)的后部依次设置在调整孔(2‑1)中,且第一镀槽调整杆(8‑1)、第二镀槽调整杆(8‑2)、第三镀槽调整杆(8‑3)、第一镀槽调整杆(8‑4)、第五镀槽调整杆(8‑5)、第六镀槽调整杆(8‑6)、第七镀槽调整杆(8‑7)和第八镀槽调整杆(8‑8)的高度逐渐减小,第一挂钩(7‑1)固接在第一镀槽调整杆(8‑1)的顶端,第一调整方圈(6‑1)与第一挂钩(7‑1)连接,第二挂钩(7‑2)固接在第二镀槽调整杆(8‑2)的顶端,第二调整方圈(6‑2)与第二挂钩(7‑2)连接,第三挂钩(7‑3)固接在第三镀槽调整杆(8‑3)的顶端,第三调整方圈(6‑3)与第三挂钩(7‑3)连接,第四挂钩(7‑4)固接在第四镀槽调整杆(8‑4)的顶端,第四调整方圈(6‑4)与第四挂钩(7‑4)连接,第五挂钩(7‑5)固接在第五镀槽调整杆(8‑5)的顶端,第五调整方圈(6‑5)与第五挂钩(7‑5)连接,第六挂钩(7‑6)固接在第六镀槽调整杆(8‑6)的顶端,第六调整方圈(6‑6)与第六挂钩(7‑6)连接,第七挂钩(7‑7)固接在第七镀槽调整杆(8‑7)的顶端,第七调整方圈(6‑7)与第七挂钩(7‑7)连接,第八挂钩(7‑8)固接在第八镀槽调整杆(8‑8)的顶端,第八调整方圈(6‑8)与第八挂钩(7‑8)连接。
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