[发明专利]固晶机的取晶机械手有效
| 申请号： | 201010605314.6 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102142391A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 黄薇;张电明;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族光电设备有限公司;深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/00;H01L21/50;B25J9/16;B25J19/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种固晶机的取晶机械手，其包括摆臂、吸嘴、真空气源、流量传感器、气管及信号处理装置，吸嘴固定于该摆臂的自由端上，流量传感器连通于吸嘴与真空气源之间，气管用于连通吸嘴、流量传感器及真空气源，流量传感器用于检测气管内的气流量并输出电信号，信号处理装置用于对流量传感器输出的电信号进行比较处理后输出是否漏晶的判断信号。上述固晶机的取晶机械手可通过流量传感器检测气管内的气体流量，从而得知吸嘴是否吸附有晶片，检测过程中不收外界光干扰，因此，上述固晶机的取晶机械手检测漏晶的精确度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶机 机械手 | ||
【主权项】：
一种固晶机的取晶机械手，其特征在于，包括摆臂、吸嘴、真空气源、流量传感器、气管及信号处理装置，该吸嘴固定于该摆臂的自由端上，该流量传感器连通于该吸嘴与该真空气源之间，该气管用于连通该吸嘴、流量传感器及真空气源，该流量传感器用于检测该气管内的气流量并输出电信号，该信号处理装置用于对该流量传感器输出的电信号进行比较处理后输出是否漏晶的判断信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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